기술소개

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특허권자 한국기계연구원 출원일자 2009.02.11
기술명칭 나노 갭을 갖는 센서 및 이의 제조 방법
기술분야 기계 기술개발상태 TRL 4단계
지재권정보 (등록특허)10-1061554 특허명세서 1020090011089.pdf
기술거래유형 권리양도 희망거래금액 무상이전
응용분유 바이오 센서
관련자료 나노 갭을 갖는 센서 및 이의 제조 방법(SMK).pdf
기술개요
본 기술은 한번의 도핑으로 전극들을 형성할 수 있는 나노갭을 갖는 센서임.
기술특징
채널과 게이트 전극간 나노 갭이 수평으로 이격된 수평 나노갭으로 이루어져 나노갭의 무너짐 현상 방지 - 제작공정이 간단하여 목표검출 물질의 접근 용이.
사업성
본 기술에 따르면 한 번의 도핑만으로 나노 갭 센서를 제작할 수 있다. 채널과 게이트 전극 간의 나노 갭이 수평으로 이격된 수평 나노 갭으로 이루어지므로 나노 갭의 무너짐 현상을 방지할 수 있고, 제작 공정이 보다 간단하며, 목표 검출 물질의 접근이 용이함.
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