기술소개

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특허권자 한국기계연구원 출원일자 2010.03.09
기술명칭 (A) 롤 스템프 제작장치
기술분야 기계 기술개발상태 TRL 5단계
지재권정보 (등록번호)10-1093820 특허명세서 1020100020872.pdf
기술거래유형 협의 후 결정 희망거래금액 협의 후 결정
응용분유 Flexible 디스플레이 판넬, Flexible 태양전지, Flexible LED
관련자료 [SMK] 10. 2010-0020872_임프린트 리소그래피 장치.pdf
기술개요
대면적 패터닝을 하는데 사용할 수 있는, 패턴이 있는 투명 또는 불투명한 재질의 롤 스템프를 제작하는
장치와 제작된 롤 스템프를 이용하여 자외선 또는 열을 이용하여 패터닝하는 방법임.
기술특징
대면적 패터닝을 하는데 사용할 수 있는 패턴이 있는 중공형 실린더형태의 투명 또는 불투명한 재질의
스템프를 용이하게 제작할 수 있고, 제작된 롤 스템프를 이용하여 자외선 또는 열을 이용하여 패터닝이
가능함. 유연 디스플레이, 태양전지, LED 등 다양한 제품의 생산을 원활하게 수행함. 가압 외에도 가열 혹은 자외선 조사를 수행하여 패턴 전사를 보다 원활히 수행하는 것이 가능함.
사업성
본 기술에 의하면, 첫째, 복수의 스탬프를 사용하여 스탬프 보다 큰 기판에 동일한 모양을 동시에 임프린트를 수행 할 수 있고, 기판보다 큰 스탬프를 이용하여 복수의 기판에 동시에 임프린트를 수행할 수 있어 작업의 효율성을 증대시킬 수 있음. 둘째, 복수의 스탬프가 이종의 모양으로 형성될 수 있어, 하나의 기판에 이종의 모양을 동시에 임프린트 수행을 할 수 있고, 하나의 기판에 동일한 스탬프의 패턴을 원하는 위치에 반복적으로 전사할 수 있어 작업의 다양성이 증대됨. 셋째, 다양한 작업에 따른 별도의 장치 필요 없이, 다양한 임프린트 작업을하나의 장치로 구현하는바, 제품의 생산단가를 낮출 수 있음.
넷째, 기판이 장착되는 가압부 하판 이외에 독립적으로 구비되는 기판이송부를 필요에 따라 선택적으로 이용하여, 임프린트 수행 과정에서 가압과 함께 가열 또는 자외선의 조사를 선택적으로 수행할 수 있음.
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