기술소개

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특허권자 한국기계연구원 출원일자 2002.08.14
기술명칭 마이크로 미러 제조방법
기술분야 기계 기술개발상태 TRL 4단계
지재권정보 (등록특허)10-0712736 특허명세서 1020020048232.pdf
기술거래유형 권리양도 희망거래금액 무상이전
응용분유 광-열유체 부품접속, 마이크로 미러
관련자료 마이크로 미러 제조방법(SMK).pdf
기술개요
본 기술은 기존의 반도체 공정에서 불가능한 경면이 임의의 곡률을 갖는 마이크로 미러를 제작하는 기술임.
기술특징
기존의 제조방법 대신 공정이 간편하고 저가인 초정밀 경면 기계가공법을 이용.
* 평면 뿐만 아니라, 구면 비구면 등을 포함한 곡면의 거울면 가공이 가능.
* 경면가공 후 진행되는 절단가공에 의해 다수의 마이크로 미러를 쉽게 얻을 수 있음.
사업성
본 기술에 의한 마이크로 미러 제조방법은 복잡한 반도체 공정 및 그에 따른 고가의 장비를 이용하는 기존의 제조방법 대신 공정이 간편하고 저가인 초정밀 경면 기계가공법을 이용하므로 훨씬 용이하게 마이크로 미러를 제조할 수 있음. 또한, 본 기술에 의한 마이크로 미러 제조방법을 사용하면, 평면 뿐만 아니라, 구면 비구면 등을 포함한 곡면의 거울면 가공이 가능하여 곡면은 마이크로 미러를 제조할 수 있음. 그리고, 본 발명에 의한 마이크로미러 제조방법을 사용하면, 경면가공후 진행되는 절단가공에 의해 다수의 마이크로 미러를 쉽게 얻을 수 있음.
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