기술소개

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특허권자 한국기계연구원 출원일자 2008.12.15
기술명칭 코플래너리티를 위한 패턴 범프를 포함하는 범프 접합 구조 및 패턴 범프의 형성 방법
기술분야 기계 기술개발상태 TRL 4단계
지재권정보 (등록특허)10-1035372 특허명세서 1020080127146.pdf
기술거래유형 권리양도 희망거래금액 무상이전
응용분유 반도체 플립칩/ 접착제 본딩
관련자료 코플래너리티를 위한 패턴 범프를 포함하는 범프 접합 구조 및 패턴 범프의 형성 방법(SMK).pdf
기술개요
본 기술은 칩과 기판의 범프간 접합에 있어서, 범프들 사이의 높이 차이로 인해 전기적 접촉이 되지 않는 코플래너리티 저하의 문제점을 해결한 새로운 구조의 패턴 범프 및 그 형성 방법임.
기술특징
범프 접합의 코플래너리티가 향상, 신뢰성 있는 플립칩.
고가의 접착제 또는 접착제 필름의 불필요, 경제적.
사업성
본 기술의 실시예들에 따르면, 기판 상의 범프들과 칩 상의 범프들이 서로에 대해 가압될 때, 거의 같은 높이로 접촉될 수 있으므로, 범프 접합의 코플래너리티가 향상되며, 그에 따라, 신뢰성 있는 플립칩이 가능하다. 또한, 본 기술에 따른 기술은 도전성 입자를 포함하는 고가의 접착제 또는 접착제 필름의 사용이 요구되지 않으므로 경제적임.
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