기술소개

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특허권자 한국기계연구원 출원일자 2000.11.22
기술명칭 반도체장비용 오링의 기밀성시험장치
기술분야 기계 기술개발상태 TRL 4단계
지재권정보 (등록특허)10-0359995 특허명세서 1020000069745.pdf
기술거래유형 권리양도 희망거래금액 소액(협의후결정)
응용분유 기밀 시험 장비
관련자료 반도체장비용 오링의 기밀성시험장치(SMK).pdf
기술개요
본 기술은 반도체장비인 화학기상증착(CVD)장비, 물리기상증착(PVD)장비, 식각(Etcher)장비 중 프로세스쳄버의 기밀성을 유지하기 위하여 사용되는 욍에 대한 기밀성을 실제 사용환경에서 시험하는 반도체장비용 오링의 기밀성시험장치임.
기술특징
반도체장비용 오링의 기밀성데이터(누설량, 경도, 인장강도, 연신율, 등)에 대한 신뢰성을 향상.
사업성
본 기술에 따르면, 반도체장비용 오링의 기밀성데이터(누설량, 경도, 인장강도, 연신율, 등)에 대한
신뢰성을 향상시킬 수 있는 효과를 제공하게됨.
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