특허권자 | 한국기계연구원 | 출원일자 | 2000.11.22 | |
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기술명칭 | 반도체장비용 오링의 기밀성시험장치 | |||
기술분야 | 기계 | 기술개발상태 | TRL 4단계 | |
지재권정보 | (등록특허)10-0359995 | 특허명세서 | 1020000069745.pdf | |
기술거래유형 | 권리양도 | 희망거래금액 | 소액(협의후결정) | |
응용분유 | 기밀 시험 장비 | |||
관련자료 |
반도체장비용 오링의 기밀성시험장치(SMK).pdf |
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기술개요 | ||||
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기술특징 | ||||
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사업성 | ||||
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관련사진 | ||||