기술소개

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특허권자 한국기계연구원 출원일자 2010.03.29
기술명칭 대면적 나노 템플릿의 제조방법 및 이에 의해 제조된 대면적 나노 템플릿
기술분야 기계 기술개발상태 TRL 4단계
지재권정보 (등록특허)10-1157430 특허명세서 1020100028065.pdf
기술거래유형 권리양도 희망거래금액 무상이전
응용분유 나노 임프린트
관련자료 대면적 나노 템플릿의 제조방법 및 이에 의해 제조된 대면적 나노 템플릿(SMK).pdf
기술개요
본 기술은 대면적 나노 템플릿의 제조방법 및 이에 의해 제조된 나노 템플릿임.
기술특징
두께 차이가 있는 소면적 나노 템플릿들을 결합하여 대면적 나노 템프릿을 제조하는 과정에 있어서 고면적 나노 템플릿에서 나노 패턴이 형성된 면들이 서로 동일한 높이로 형성되게 함으로써, 대면적에 걸쳐 균일한 나노 패턴을 전사.
사업성
본 기술의 대면적 나노 템플릿의 제조방법에 따르면, 두께 차이가 있는 소면적 나노 템플릿들을 결합하여 대면적 나노 템플릿을 제조하는 과정에 있어서 소면적 나노 템플릿에서 나노 패턴이 형성된 면들이 서로 동일한 높이로 형성되게 함으로써, 대면적에 걸쳐 균일한 나노 패턴을 전사할 수 있다. 또한, 본 기술의 대면적 나노 템플릿의 제조방법에 따르면, 소면적 나노 템플릿들이 평탄화 박막에 압입되어 결합됨으로써, 소면적 나노 템플릿들과 평탄화 박막 사이에 강한 기계적 결합을 형성할 수 있고, 내구성이 우수한 대면적 나노 템플릿을 제조할 수 있음.
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