기술소개

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특허권자 한국기계연구원 출원일자 2004.03.22
기술명칭 히트파이프를 이용한 오존방전장치
기술분야 기계 기술개발상태 TRL 4단계
지재권정보 (등록특허)10-0578466 특허명세서 1020040019212.pdf
기술거래유형 권리양도 희망거래금액 소액(협의후결정)
응용분유 오전방전기
관련자료 히트파이프를 이용한 오존방전장치(SMK).pdf
기술개요
본 기술은 열전달 특성이 우수한 히트파이프를 내부전극으로 구성된 히트파이프를 이용한 오존방전장치임.
기술특징
기존의 오존방전장치 보다 약 3wt% 향상된 고농도의 오존을 발생.
약 10% 이상의 고농도 오존을 필요로 하는 산업으로 오존이용기술의 적용범위를 확대.
사업성
본 기술에 따른 히트파이프를 이용한 오존방전장치는 무성코로나방전으로 인하여 발생되는 열에너지를 보다 효과적으로 방열시켜 열적 작용에 의한 오존분해 작용의 감소로 기존의 오존방전장치 보다 약 3wt% 향상된 고농도의 오존을 발생시킬 수 있는 특징이 있음.
아울러 본 기술의 분야에서 반도체 산업의 세정공정분야나 난 분해성 폐기물 처리분야 등 약 10% 이상의 고농도 오존을 필요로 하는 산업으로 오존이용기술의 적용범위를 확대하는 효과가 있음.
그리고 최근 반도체 분야에 오존이용 공정기술 개발이 활발해지면서 반도체 세정과 관련한 외국의 오존공정설비가 국내반도체 라인을 대체하고 있는 시점인 바, 본 발명의 히트파이프를 이용한 오존방전장치의 개발로 고농도의 온존생성기술을 자체 확보함으로써, 반도체 분야의 오존공정설비 국산화 개발과 함께 수입대체 효과를 기대할 수 있음.
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