본 기술에 따르면, 시편에 조사한 측정 입사 레이저 빔에 상응하여 상기 시편으로부터 반사되는 측정 반사 레이저 빔의 광경로를, 상기 측정 반사 레이저 빔에 기초하여 서로 동일한 역방향의 광경로가 되도록 실시간으로 보정 함으로써, 상기 보정된 측정 반사 레이저 빔을 이용하여 시편의 내부에서 발생되는 초음파 공진 신호를 보다 안정적으로 획득하고, 상기 획득된 초음파 공진 신호를 분석하여 온도 변화에 따른 시편의 재료 특성 변화를 보다 정밀하게 검사할 수 있게됨. 또한, 본 기술에 따르면, 시편에서의 온도 변화에 따라 발생되는 시편의 재료 변형, 또는 상기 온도 변화를 위해 시편을 가열 함에 따라 발생되는 대기 난류 등에 의해 상기 시편으로부터 반사되는 측정 반사 레이저 빔의 광경로가 왜곡되는 경우, 상기 시편에 조사한 측정 입사 레이저 빔에 기초하여 상기 측정 반사 레이저 빔의 광경로를 서로 동일한 광경로를 갖도록 실시간으로 보정 함으로써, 시편의 내부에서 발생되는 초음파 공진 신호의 정밀한 측정을 위한 완전한 자동화가 이루어지게됨. 또한, 본 기술에 따르면, 시편으로부터 반사되는 측정 반사 레이저 빔과 기준 레이저 빔 간의 간섭에 따라 생성된 간섭 레이저 빔을 이용하여 상기 시편의 내부에서 발생되는 초음파 공진 신호의 측정 시, 광센서부에 입사되는 상기 간섭 레이저 빔이 항상 광센서부의 센서 중앙부에 입사되게 광경로를 보정 함으로써, 보다 정밀하게 상기 초음파 공진 신호를 측정할 수 있게됨. 또한, 본 기술에 따르면, 위치제어 45도 거울부를 제어하여 상기 위치제어 45도 거울부를 거쳐 시편으로 조사되는 초음파 발생용 펄스 레이저 빔과 초음파 측정용 레이저 빔이 상기 시편의 원하는 위치로 조사되도록 하고, 또한 본 기술은 스캐닝 수단을 사용하여 상기 시편으로부터 반사되는 측정 반사 레이저 빔의 위치를 제어하여 시편의 각 영역을 스캔하고, 이에 따라 생성한 스캔 면적에 대한 초음파 공진 모드 정보를 추가적으로 제공 함으로써, 온도 변화에 따른 시편의 재료 특성 변화를 보다 정밀하게 분석할 수 있게됨. 또한, 본 기술에 따르면, 고온의 시편에서 발생되는 재료 구조의 변화에 따른 초음파 공진 신호에 대한 다중 계측과 상호 검증을 통해 측정 성능을 향상시킬 수 있게됨. 또한, 본 기술에 따르면, 완전한 원격의 비접촉식인 레이저 초음파를 이용하여 고온의 재료에 대한 비파괴 검사를 가능하게함. |
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