| 본 기술에 따르면, 최대이득 추적기를 이용하여 대상체의 표면이 거친 경우에도 최대로 측정 레이저 빔을 반사하는 대상체의 측정위치와 반사 레이저 빔 측정위치를 검출하여, 레이저 간섭계가 최대 이득을 유지할 수 있도록함. 또한, 본 기술에 따르면, 대상체의 각 측정위치에서 레이저 간섭계의 이득을 측정하여 상기 레이저 간섭계가 최대 이득을 유지할 수 있도록 보정함으로써, 상대적으로 비교 에러가 줄어든 정규화된 충격파(충격파 신호)를 획득할 수 있도록함. 또한, 본 기술에 따르면, 대상체의 표면이 거칠어 대상체로부터 반사된 반사 레이저 빔이 일정 부분 왜곡되더라도, 왜곡된 반사 레이저 빔도 측정할 수 있도록 광굴절 결정부에 입사되는 기준 레이저 빔의 직경을 측정 레이저 빔의 직경보다 2배 이상 크게 생성함으로써, 안정된 충격파 신호를 획득할 수 있음. 또한, 본 기술에 따르면, 대상체로 전송되는 충격파의 강도에 변화를 주어, 충격파 강도에 따라 측정되는 충격파의 특성 변화를 관찰함으로써, 대상체의 품질을 평가하고, 대상체의 미세한 특성 변화를 검출할 수 있음. |
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