기술소개

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특허권자 한국원자력연구소 출원일자 2005.10.22
기술명칭 일차원 탄화규소 증착물의 선택적 성장 방법
기술분야 기타 기술개발상태
지재권정보 (등록번호)10-0807081 특허명세서 1020050099951.pdf
기술거래유형 통상실시권 허여 희망거래금액 소액이전
응용분유 극한환경용 복합소재
관련자료 KAERI20-20.pdf
기술개요
고밀도 탄화규소 섬유강화 탄화규소 복합재료의 제조방법에 관한 기술임.
기술특징
소결첨가제 함량 7%이하를 사용함. 기공율 2%미만의 고밀도 소재 제조가 가능함. 소재의 강도가 400MPa 이상으로 우수함. 소재의 물성의 변성을 최소화함.
사업성
본 기술에 따르면, 규소 기판 위에 패턴이 만들어진 산화규소 층에서 노출된 규소 면에 촉매를 사용하지 않고 기상-고상 반응을 통하여 일차원 구조를 지닌 탄화수소를 선택적으로 성장시킴으로써, 공정단계를 효율적으로 단축할 수 있을 뿐만 아니라, 촉매를 사용하지 않으므로 불순물의 유입을 원천적으로 방지할 수 있음. 또한, 일반적인 반도체 제조 공정과 같은 공정을 따라 수행되므로 성능이 우수한 전계방출소자나 전자소자에 적용될 수 있는 일차원 구조를 지닌 탄화규소의 성장에 용이하게 응용될 수 있는 유용한 효과를 제공함. 상기에서 본 기술의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 본 기술이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 숙련된 당업자는 하기의 특허청구의 범위에 기재된 본 기술의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않은 범위내에서 본 기술을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것임.
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